Добавить в избранное  ::  E-mail
Главная
Новости
Сотрудники
Научные интересы
Публикации
Наши проекты
Наши партнеры
Оборудование
Награды
Gallery
Ю.Д. Третьяков
Ссылки
 
 
 
Система Orphus

Сканирующий электронный микроскоп Carl Zeiss NVision 40:

Сканирующий электронный микроскоп Carl Zeiss NVision40
 

SEM

FIB

Пространственное разрешение

Колонна Gemini
1.1 нм при 20 кВ
2.5 нм при 1 кВ

Колонна SIINT 100
mm zeta FIB
4 нм при 30кВ

Увеличение

до 900 000x

до  500 000x

Ускоряющее напряжение

0.1 - 30 кВ

5 - 30 кВ

Источник электронов/ионов

Термоэмиссионный

Автоэмиссионный Ga

Газовая система

Источники W, Pt, C, источники для осаждения SiO2, а также для травления материалов
(еще не подключена).

Предметный столик

Наклон -10° ÷ +60°; вращение 360°

Встроенные детекторы

Детекторы вторичных электронов
(InLens, Эвернхарта-Торнли);

EsB детектор обратно рассеянных электронов;

4Q детектор ДОЭ;

ИК-камера для обзора рабочей камеры.

Copyright © 2008 - ROOM 503